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三氯氢硅又称硅氯仿，在常温常压下为具有刺激性氯/化/氢/气味易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2．三氯氢硅是甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米3 ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。

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